本文主要介绍了关于光阻的相关检测方法，检测方法仅供参考，如果您想针对自己的样品定制试验方案，可以咨询我们在线工程师为您服务。

1. 光阻：光阻是一种常用于半导体制程中的材料，通过在特定波长的光照下，光敏物质会发生化学反应，从而产生不溶性或溶解性的改变。光阻主要用于光刻工艺，可以实现对半导体器件表面进行精确的图案定义和微细结构的制作。

北检院部分仪器展示