洁净室检测范围

洁净室分类：FFU、ISO1、ISO2、ISO3、ISO4、ISO5、ISO6、ISO7、ISO8

洁净室检测项目

压差、温度、湿度、照度、颗粒物（尘埃）、微生物、挥发性有机化合物（VOC）、甲醛、氨、氡、氧化碳、风速、气流组织、高效过滤器（HEPA）完整性、总挥发性有机化合物（TVOC）

洁净室检测方法

激光粒子计数器：检测空气中的颗粒物

安德森采样器：采样空气中的微生物

气相色谱-质谱（GC-MS）：分析空气中的挥发性有机化合物

数字压力传感器：测量压差

湿球温度计：测量空气湿度

洁净室检测仪器

激光粒子计数器、安德森采样器、气相色谱-质谱、数字压力传感器、湿球温度计

洁净室报告用途

确定洁净室是否符合预先设定的标准和要求，为洁净室管理提供数据支持，验证洁净室运行的有效性，保障洁净室生产环境的质量和安全性。

北检院部分仪器展示