信息概要

半导体超纯水颗粒精度检测是确保半导体制造过程中水质纯净度的关键环节。超纯水中的颗粒污染物会直接影响芯片生产的良率和性能，因此检测的精度和可靠性至关重要。第三方检测机构通过专业设备和标准化方法，对超纯水中的颗粒数量、尺寸分布等参数进行精准测量，为半导体企业提供数据支持，保障生产质量。

检测项目

颗粒数量浓度, 颗粒尺寸分布, 总有机碳含量, 溶解氧含量, 电导率, pH值, 微生物含量, 金属离子浓度, 阴离子含量, 阳离子含量, 二氧化硅含量, 悬浮物浓度, 浊度, 细菌内毒素, 颗粒形态分析, 粒径大于0.1μm的颗粒数, 粒径大于0.2μm的颗粒数, 粒径大于0.5μm的颗粒数, 非挥发性残留物, 挥发性有机物含量

检测范围

半导体级超纯水, 光伏级超纯水, 液晶显示级超纯水, 集成电路制造用超纯水, 晶圆清洗用超纯水, 光刻工艺用超纯水, 蚀刻工艺用超纯水, 化学机械抛光用超纯水, 封装测试用超纯水, 半导体设备清洗用超纯水, 实验室分析用超纯水, 医药级超纯水, 电子级超纯水, 高纯水系统产水, 反渗透产水, 离子交换产水, 电去离子产水, 超滤产水, 纳米级过滤产水, 蒸馏水

检测方法

激光颗粒计数器法：通过激光散射原理测量水中颗粒的数量和尺寸分布。

动态光散射法：利用光散射技术分析颗粒的粒径分布。

显微镜计数法：通过显微镜直接观察和计数颗粒。

电感耦合等离子体质谱法：检测超纯水中的金属离子含量。

离子色谱法：测定水中的阴离子和阳离子浓度。

总有机碳分析仪法：测量水中的总有机碳含量。

电导率仪法：检测水的电导率，反映离子污染程度。

pH计法：测定水的pH值。

浊度仪法：测量水的浊度，反映悬浮颗粒的浓度。

微生物培养法：通过培养检测水中的微生物含量。

细菌内毒素检测法：利用鲎试剂检测内毒素含量。

原子吸收光谱法：测定水中的特定金属元素。

气相色谱法：分析水中的挥发性有机物。

高效液相色谱法：检测水中的有机污染物。

重量法：通过蒸发和称重测定非挥发性残留物。

检测仪器

激光颗粒计数器, 动态光散射仪, 光学显微镜, 电感耦合等离子体质谱仪, 离子色谱仪, 总有机碳分析仪, 电导率仪, pH计, 浊度仪, 微生物培养箱, 细菌内毒素检测仪, 原子吸收光谱仪, 气相色谱仪, 高效液相色谱仪, 电子天平

荣誉资质

北检院部分仪器展示