本文主要介绍了关于混合集成电路的相关检测仪器，检测仪器仅供参考，如果您想了解自己的样品需要哪些检测仪器，可以咨询我们在线工程师为您服务。

1. 透射电子显微镜：透射电子显微镜（Transmission Electron Microscope，简称TEM）是一种高分辨率的显微镜，能够用电子束穿透样品并产生高分辨率的影像，广泛应用于研究材料的微观结构。

2. 原子力显微镜：原子力显微镜（Atomic Force Microscope，简称AFM）是一种高分辨率的显微镜，能够通过探针感知样品表面的微小形貌和特性，常用于表面形貌分析。

3. 扫描电子显微镜：扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope，简称SEM）通过扫描样品表面并测量电子与样品相互作用产生的信号，从而获得样品的表面形貌和成分信息。

4. 能谱仪：能谱仪是一种用于分析样品成分的仪器，通过测量样品产生的X射线、光电子等信号的能量分布来确定样品的元素组成。

5. 热分析仪：热分析仪能够通过控制样品温度并测量样品在温度变化过程中吸放热或质量变化，从而分析样品的热性质和热稳定性。

6. X射线衍射仪：X射线衍射仪是一种用X射线衍射技术分析材料晶体结构的仪器，能够确定材料的晶体结构、晶面取向和晶粒大小等信息。

7. 拉曼光谱仪：拉曼光谱仪利用样品与激发光相互作用产生的拉曼散射来分析样品的结构和成分信息，常用于原子、分子和晶体的表征。

8. 红外光谱仪：红外光谱仪通过测量样品对红外辐射的吸收、反射或透射来分析样品中分子的振动和转动信息，用于分析有机物的成分和结构。

9. 电子能谱仪：电子能谱仪是一种表面分析仪器，能够通过测量样品表面电子能谱来确定样品表面元素的组成和化学状态。

10. 压电陶瓷检测器：压电陶瓷检测器是一种用于检测声波和射频信号的传感器，能够将电信号转换为声学信号或相反，被广泛应用于声波传感器和探测器中。

北检院部分仪器展示