信息概要

二次离子质谱（SIMS）是一种高灵敏度的表面分析技术，通过聚焦离子束轰击样品表面并收集溅射出的二次离子进行质谱分析，可实现对材料元素组成、同位素分布及痕量杂质的定性和定量检测。该技术广泛应用于半导体、地质材料、生物医学、环境科学等领域，尤其在材料缺陷分析、污染物溯源及微观结构表征中具有不可替代的作用。检测服务可帮助客户精准把控产品质量、优化生产工艺，并为研发创新提供关键数据支撑。

检测项目

元素分布分析, 同位素比率测定, 表面污染物检测, 痕量杂质定量, 深度剖面分析, 界面化学状态表征, 掺杂浓度测量, 有机分子碎片识别, 无机材料成分分析, 氧化层厚度评估, 薄膜均匀性测试, 晶体缺陷定位, 纳米颗粒成分鉴定, 生物组织元素成像, 环境颗粒物溯源, 金属腐蚀产物分析, 半导体界面扩散研究, 聚合物添加剂分布, 微区杂质映射, 同位素标记追踪

检测范围

半导体材料, 金属合金, 陶瓷材料, 玻璃制品, 薄膜涂层, 生物组织切片, 环境颗粒物, 地质矿物, 高分子聚合物, 纳米复合材料, 电子元器件, 太阳能电池材料, 核燃料棒, 催化剂颗粒, 医疗植入物, 考古文物, 锂电池电极材料, 光学晶体, 微电子封装材料, 超导材料

检测方法

静态SIMS：通过低离子剂量分析样品表面分子层信息，保留原始化学结构。

动态SIMS：采用高离子束流进行深度剖析，适用于元素三维分布重建。

飞行时间SIMS（TOF-SIMS）：结合高质量分辨率和成像功能，用于有机材料表征。

磁扇形SIMS：通过磁场分离二次离子，实现高精度同位素比测定。

纳米SIMS：亚微米级空间分辨率分析，支持细胞级元素成像。

深度剖析模式：逐层剥离样品并同步检测，获取元素纵向分布数据。

成像SIMS：通过扫描离子束生成二维/三维元素分布图。

负离子检测模式：优化电负性元素（如氧、硫）的检测灵敏度。

簇离子源技术：使用双原子离子束减少样品损伤，提升有机物信号强度。

能量过滤技术：消除中性粒子干扰，提高痕量元素信噪比。

多接收器检测：同步捕获多质量数信号，缩短分析时间。

定量标准化：采用基体匹配标准样品进行浓度校准。

脉冲离子束模式：与TOF质量分析器配合实现高时间分辨率检测。

激光后电离技术：增强二次离子产额，提升检测限至ppb级。

电荷补偿系统：用于绝缘样品分析，消除表面荷电效应。

检测仪器

TOF-SIMS V型, NanoSIMS 50L, IMS 7f-Auto, SIMS 1280-HR, Cameca LEAP 5000, PHI nanoTOF II, Hiden SIMS Workstation, ATOMIKA 4500, IonToF TOF.SIMS 5, Ulvac-Phi ADEPT-1200, CAMECA IMS 6f, Tescan Amber X, SPECS SIMS Lab, HORIBA SIMS Lab, OMNICRON SIMS

北检院部分仪器展示