信息概要

聚焦离子束（FIB）纳污量检测是一种高精度的表面污染分析技术，主要用于半导体、纳米材料、光学器件等领域的污染物检测。该检测能够精准识别样品表面的纳米级污染物，包括金属颗粒、有机残留物、无机颗粒等，确保产品的可靠性和性能稳定性。检测的重要性在于帮助客户优化生产工艺，提高产品良率，并满足行业标准和法规要求。

检测项目

污染物种类分析，污染物尺寸分布，污染物浓度，表面元素组成，污染物形貌特征，污染物分布均匀性，金属离子含量，有机污染物含量，无机污染物含量，颗粒数量统计，污染物来源分析，表面粗糙度，污染物附着强度，污染物化学状态，污染物热稳定性，污染物电学性能，污染物光学性能，污染物毒性评估，污染物挥发性，污染物溶解性

检测范围

半导体晶圆，纳米薄膜，光学镜片，微电子器件，太阳能电池，LED芯片，磁性材料，生物传感器， MEMS器件，量子点材料，碳纳米管，石墨烯，金属涂层，陶瓷材料，聚合物薄膜，玻璃基板，光纤材料，电子封装材料，医疗植入材料，航空航天材料

检测方法

聚焦离子束-扫描电子显微镜联用（FIB-SEM）：通过离子束切割和电子显微镜成像分析污染物。

能量色散X射线光谱（EDS）：检测污染物元素组成。

飞行时间二次离子质谱（TOF-SIMS）：分析表面污染物分子结构。

X射线光电子能谱（XPS）：测定污染物化学状态。

原子力显微镜（AFM）：观察污染物表面形貌和尺寸。

拉曼光谱（Raman）：识别污染物分子振动信息。

红外光谱（FTIR）：分析有机污染物官能团。

电感耦合等离子体质谱（ICP-MS）：定量检测金属离子含量。

气相色谱-质谱联用（GC-MS）：分析挥发性有机污染物。

液相色谱-质谱联用（LC-MS）：检测非挥发性有机污染物。

动态光散射（DLS）：测量污染物颗粒尺寸分布。

zeta电位分析：评估污染物表面电荷特性。

热重分析（TGA）：测定污染物热稳定性。

差示扫描量热法（DSC）：分析污染物热性能。

电化学阻抗谱（EIS）：评估污染物电学性能。

检测仪器

聚焦离子束显微镜，扫描电子显微镜，能量色散X射线光谱仪，飞行时间二次离子质谱仪，X射线光电子能谱仪，原子力显微镜，拉曼光谱仪，傅里叶变换红外光谱仪，电感耦合等离子体质谱仪，气相色谱-质谱联用仪，液相色谱-质谱联用仪，动态光散射仪，zeta电位分析仪，热重分析仪，差示扫描量热仪

荣誉资质

北检院部分仪器展示