信息概要

铝互连线BOE刻蚀液是半导体制造中用于刻蚀二氧化硅层的关键化学品，其主要成分为氟化铵和氢氟酸。准确测定氟化铵/氢氟酸比例对于确保刻蚀工艺的稳定性和产品良率至关重要。第三方检测机构通过离子色谱测试提供高精度、可靠的成分分析服务，帮助企业优化工艺参数、控制产品质量，并满足行业标准与环保要求。

检测项目

氟化铵浓度, 氢氟酸浓度, 氟离子含量, 铵离子含量, 水分含量, 金属杂质（如钠、钾、钙、铁）, 颗粒物含量, pH值, 密度, 粘度, 电导率, 总酸度, 游离酸度, 挥发性有机物, 不溶物含量, 氯离子含量, 硫酸根离子含量, 硝酸根离子含量, 硅含量, 硼含量

检测范围

半导体级BOE刻蚀液, 光伏行业用BOE刻蚀液, 微电子级BOE刻蚀液, 高纯度BOE刻蚀液, 低金属杂质BOE刻蚀液, 环保型BOE刻蚀液, 实验室用BOE刻蚀液, 工业级BOE刻蚀液, 定制比例BOE刻蚀液, 稀释型BOE刻蚀液, 浓缩型BOE刻蚀液, 缓冲型BOE刻蚀液, 无颗粒BOE刻蚀液, 高温稳定性BOE刻蚀液, 低温应用BOE刻蚀液, 光刻胶去除专用BOE刻蚀液, 硅片清洗用BOE刻蚀液, 玻璃刻蚀用BOE刻蚀液, 陶瓷刻蚀用BOE刻蚀液, 纳米材料处理用BOE刻蚀液

检测方法

离子色谱法（IC）：用于测定氟离子、铵离子及其他阴离子含量。

原子吸收光谱法（AAS）：检测金属杂质如钠、钾、钙等。

电感耦合等离子体质谱法（ICP-MS）：高灵敏度分析痕量金属元素。

卡尔费休水分测定法：精确测量样品中的水分含量。

pH计法：测定刻蚀液的酸碱度。

密度计法：通过振荡管原理测定液体密度。

粘度计法：使用旋转粘度计测量流体粘度。

电导率仪法：评估溶液离子导电能力。

滴定法：测定总酸度和游离酸度。

气相色谱法（GC）：分析挥发性有机物含量。

激光粒度分析法：检测颗粒物粒径分布。

紫外-可见分光光度法（UV-Vis）：测定特定成分如硅、硼含量。

重量法：通过蒸发残渣测定不溶物含量。

X射线荧光光谱法（XRF）：快速筛查元素组成。

离子选择性电极法：针对特定离子（如氟离子）的快速检测。

检测仪器

离子色谱仪, 原子吸收光谱仪, 电感耦合等离子体质谱仪, 卡尔费休水分测定仪, pH计, 密度计, 旋转粘度计, 电导率仪, 自动滴定仪, 气相色谱仪, 激光粒度分析仪, 紫外-可见分光光度计, 分析天平, X射线荧光光谱仪, 离子选择性电极

荣誉资质

北检院部分仪器展示