信息概要

半导体超纯水0.5ppb级TOC紫外-过硫酸盐氧化试验是针对半导体制造过程中使用的超纯水进行总有机碳（TOC）含量检测的高精度分析方法。该检测项目通过紫外-过硫酸盐氧化技术将水中有机物转化为二氧化碳，再通过高灵敏度检测器测定TOC含量，确保水质达到0.5ppb级别的超高纯度要求。检测的重要性在于，半导体制造对超纯水的纯度要求极高，微量有机物可能导致晶圆污染或器件性能下降，因此TOC检测是保障半导体产品质量和良率的关键环节。

检测项目

总有机碳（TOC）, 溶解性有机碳（DOC）, 非挥发性有机碳（NPOC）, 电导率, pH值, 颗粒物含量, 细菌总数, 阴离子含量, 阳离子含量, 硅含量, 硼含量, 钠含量, 钾含量, 钙含量, 镁含量, 铁含量, 铜含量, 锌含量, 氯离子含量, 硫酸根含量

检测范围

半导体制造用超纯水, 光伏行业超纯水, 液晶显示行业超纯水, 医药注射用水, 生物制药纯化水, 电子级化学品, 实验室超纯水, 集成电路清洗用水, 晶圆加工用水, 微电子行业超纯水, 光学材料清洗用水, 纳米材料制备用水, 高纯试剂配制用水, 原子能工业超纯水, 航天级超纯水, 精密仪器清洗用水, 食品级超纯水, 化妆品级超纯水, 电镀行业超纯水, 电池行业超纯水

检测方法

紫外-过硫酸盐氧化法：通过紫外光催化过硫酸盐氧化水中有机物，转化为二氧化碳后检测

电导率检测法：测量水样的电导率以评估离子含量

pH电位测定法：使用高精度pH计测定水样的酸碱度

离子色谱法：测定水中各种阴离子和阳离子的含量

原子吸收光谱法：检测水中微量金属元素含量

电感耦合等离子体质谱法（ICP-MS）：超高灵敏度检测痕量元素

激光颗粒计数法：测定水中颗粒物的数量和大小分布

膜过滤菌落计数法：测定水中微生物含量

比色法：用于特定成分如硅、硼等的测定

气相色谱法：检测挥发性有机化合物

高效液相色谱法：分析难挥发性有机物

总碳/无机碳差减法：通过测定总碳和无机碳计算TOC

荧光分析法：检测特定有机污染物

电阻率测定法：评估水的纯度等级

氧化还原电位测定法：评估水的氧化还原特性

检测仪器

TOC分析仪, 紫外-过硫酸盐氧化系统, 高精度电导率仪, pH计, 离子色谱仪, 原子吸收光谱仪, 电感耦合等离子体质谱仪, 激光颗粒计数器, 微生物检测系统, 比色计, 气相色谱仪, 高效液相色谱仪, 荧光分光光度计, 电阻率仪, 氧化还原电位测定仪

荣誉资质

北检院部分仪器展示