信息概要

芯片刻蚀废液中的乙二醇醚类TOC高温氧化试验是针对半导体制造过程中产生的废液进行有机物含量分析的重要检测项目。乙二醇醚类化合物作为刻蚀工艺中的常用溶剂，其残留可能对环境及人体健康造成潜在危害。通过高温氧化法测定总有机碳（TOC）含量，可有效评估废液的污染程度及处理效果，为环保合规性、工艺优化及废弃物管理提供科学依据。检测数据有助于企业满足环保法规要求，降低环境风险。

检测项目

总有机碳（TOC）, 化学需氧量（COD）, 生化需氧量（BOD）, 乙二醇单甲醚, 乙二醇单乙醚, 乙二醇单丁醚, 二乙二醇单甲醚, 二乙二醇单乙醚, 二乙二醇单丁醚, 三乙二醇单甲醚, pH值, 电导率, 悬浮物, 重金属含量（铅、镉、汞）, 氟化物, 氯化物, 硫酸盐, 挥发性有机物（VOCs）, 半挥发性有机物（SVOCs）, 总氮, 总磷

检测范围

乙二醇单甲醚废液, 乙二醇单乙醚废液, 乙二醇单丁醚废液, 二乙二醇单甲醚废液, 二乙二醇单乙醚废液, 二乙二醇单丁醚废液, 三乙二醇单甲醚废液, 混合乙二醇醚废液, 刻蚀工艺清洗废液, 光刻胶剥离废液, 半导体晶圆清洗废液, 电子级溶剂废液, 工业级乙二醇醚废液, 高浓度有机废液, 低浓度有机废液, 酸性刻蚀废液, 碱性刻蚀废液, 含氟刻蚀废液, 含氯刻蚀废液, 含重金属刻蚀废液

检测方法

高温催化氧化法（通过高温燃烧将有机物转化为CO2后检测）

非分散红外检测法（NDIR，测定CO2的红外吸收强度）

紫外-过硫酸盐氧化法（利用紫外光强化氧化有机物）

离子色谱法（测定无机阴离子如氟化物、氯化物）

气相色谱-质谱联用法（GC-MS，定性定量分析VOCs和SVOCs）

电感耦合等离子体质谱法（ICP-MS，检测痕量重金属）

原子吸收光谱法（AAS，测定特定金属元素）

电位滴定法（测定pH值和酸碱度）

重量法（测定悬浮物含量）

库仑法（测定COD值）

稀释接种法（测定BOD5）

分光光度法（测定总氮、总磷）

顶空气相色谱法（测定挥发性有机物）

索氏提取法（提取半挥发性有机物）

电导率仪法（测定废液电导率）

检测仪器

TOC分析仪, 高温氧化反应器, 非分散红外检测器, 紫外氧化装置, 离子色谱仪, 气相色谱-质谱联用仪, 电感耦合等离子体质谱仪, 原子吸收光谱仪, pH计, 电导率仪, 电子天平, 分光光度计, BOD培养箱, COD消解仪, 顶空进样器

荣誉资质

北检院部分仪器展示