信息概要

钴互连刻蚀液是半导体制造中的关键化学品，用于芯片制造中的钴互连结构刻蚀工艺。柠檬酸作为缓蚀剂，其浓度直接影响刻蚀液的性能和工艺稳定性。高效液相色谱（HPLC）测试是检测柠檬酸缓蚀剂浓度的精准方法，可确保刻蚀液的质量控制与工艺优化。检测的重要性在于：避免因缓蚀剂浓度异常导致的刻蚀速率不稳定、钴线宽偏差或器件失效，同时满足半导体行业对高精度制造的需求。

检测项目

柠檬酸浓度, 钴离子含量, 铁离子含量, 铜离子含量, 镍离子含量, pH值, 电导率, 密度, 粘度, 总有机碳（TOC）, 氯离子含量, 硫酸根离子含量, 硝酸根离子含量, 磷酸根离子含量, 颗粒物含量, 氧化还原电位, 表面张力, 水分含量, 挥发性有机物（VOCs）, 稳定性测试

检测范围

钴互连刻蚀液原液, 稀释刻蚀液, 废刻蚀液, 高浓度柠檬酸缓蚀剂, 低浓度柠檬酸缓蚀剂, 酸性刻蚀液, 碱性刻蚀液, 中性刻蚀液, 单组分刻蚀液, 多组分刻蚀液, 无氰刻蚀液, 含氰刻蚀液, 高温刻蚀液, 低温刻蚀液, 高选择性刻蚀液, 低选择性刻蚀液, 环保型刻蚀液, 工业级刻蚀液, 电子级刻蚀液, 实验室自制刻蚀液

检测方法

高效液相色谱法（HPLC）：用于精确测定柠檬酸缓蚀剂浓度，分离效果好、灵敏度高。

电感耦合等离子体质谱法（ICP-MS）：检测痕量金属离子含量，如钴、铁、铜等。

离子色谱法（IC）：测定阴离子含量，如氯离子、硫酸根等。

pH计法：直接测量刻蚀液的酸碱度。

电导率仪法：评估刻蚀液的离子强度。

密度计法：通过浮力或振荡原理测定液体密度。

粘度计法：采用旋转或毛细管法测量液体粘度。

总有机碳分析仪（TOC）：量化有机污染物含量。

激光粒度分析法：检测颗粒物粒径分布。

氧化还原电位计法：评估刻蚀液的氧化还原特性。

表面张力仪法：通过悬滴或铂金板法测量表面张力。

卡尔费休水分测定法：精确测定微量水分。

气相色谱-质谱联用法（GC-MS）：分析挥发性有机物成分。

紫外-可见分光光度法（UV-Vis）：用于特定成分的定性定量分析。

稳定性加速试验法：通过高温或离心加速评估产品稳定性。

检测仪器

高效液相色谱仪（HPLC）, 电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）, 离子色谱仪（IC）, pH计, 电导率仪, 密度计, 旋转粘度计, 总有机碳分析仪（TOC）, 激光粒度分析仪, 氧化还原电位计, 表面张力仪, 卡尔费休水分测定仪, 气相色谱-质谱联用仪（GC-MS）, 紫外-可见分光光度计（UV-Vis）, 离心机

荣誉资质

北检院部分仪器展示