信息概要

晶圆弯曲测试是半导体制造和封装过程中的关键质量控制环节，主要用于评估晶圆在加工、运输或封装过程中产生的形变程度。晶圆的平整度直接影响后续光刻、蚀刻等工艺的精度，因此检测晶圆弯曲度对于确保器件性能和良率至关重要。通过第三方检测机构的专业服务，客户可以获取高精度、可追溯的检测数据，从而优化生产工艺并降低废品率。

检测项目

弯曲度,翘曲度,厚度均匀性,表面粗糙度,应力分布,平面度,曲率半径,局部变形量,全局变形量,热膨胀系数,弹性模量,抗弯强度,残余应力,晶格畸变,表面平整度,边缘翘曲,中心凹陷,厚度偏差,温度稳定性,振动敏感性

检测范围

硅晶圆,砷化镓晶圆,碳化硅晶圆,氮化镓晶圆,蓝宝石晶圆,SOI晶圆,抛光晶圆,外延晶圆,图形化晶圆,薄晶圆,厚晶圆,测试晶圆,量产晶圆,绝缘体上硅晶圆,化合物半导体晶圆,柔性晶圆,超薄晶圆,再生晶圆,硅基氮化镓晶圆,硅基碳化硅晶圆

检测方法

激光干涉法：利用激光干涉仪测量晶圆表面形貌，精度可达纳米级。

光学轮廓法：通过光学传感器扫描晶圆表面，获取三维形变数据。

接触式探针法：采用高精度探针直接接触测量晶圆弯曲度。

X射线衍射法：分析晶格畸变以间接计算晶圆应力分布。

电容测距法：通过电容变化检测晶圆与参考平面的距离偏差。

白光干涉法：利用白光干涉条纹分析表面微观形变。

机械千分表法：传统接触式测量局部翘曲度。

红外热成像法：通过温度场分布评估热应力导致的弯曲。

超声波检测法：测量超声波在晶圆中的传播特性反映内部应力。

莫尔条纹法：利用光学莫尔条纹观测宏观形变。

电子散斑干涉法：高灵敏度检测微米级动态变形。

原子力显微镜法：纳米级分辨率测量局部表面起伏。

拉曼光谱法：通过频移分析材料应力状态。

数字图像相关法：对比变形前后图像计算全场位移。

微波反射法：非接触式测量介电常数变化引起的形变。

检测仪器

激光干涉仪,光学轮廓仪,接触式探针台,X射线衍射仪,电容测距传感器,白光干涉显微镜,千分表测量系统,红外热像仪,超声波测厚仪,莫尔条纹分析仪,电子散斑干涉仪,原子力显微镜,拉曼光谱仪,数字图像相关系统,微波反射计

荣誉资质

北检院部分仪器展示