信息概要

半导体材料痕量金属残留灼烧检测是针对半导体制造过程中可能引入的微量金属杂质进行的高精度分析。这些金属残留可能来源于原材料、生产设备或工艺环境，即使极低浓度也会严重影响半导体器件的性能和可靠性。检测通过灼烧法将样品转化为可分析形态，结合先进仪器定量金属含量，确保材料符合行业标准（如SEMI、ISO等）。该检测对保障芯片良率、防止电路短路或漏电等失效问题具有关键意义，是半导体产业链质量控制的核心环节。

检测项目

钠, 钾, 钙, 镁, 铁, 铜, 锌, 镍, 铬, 锰, 铝, 铅, 镉, 汞, 砷, 银, 金, 钴, 锡, 钛

检测范围

硅晶圆, 砷化镓, 氮化镓, 碳化硅, 磷化铟, 二氧化硅薄膜, 光刻胶, 溅射靶材, 化学机械抛光液, 蚀刻液, 晶圆清洗剂, 封装材料, 键合线, 焊球, 导电胶, 陶瓷基板, 金属有机前驱体, 高纯气体, 光掩模, 硅外延片

检测方法

电感耦合等离子体质谱法（ICP-MS）：通过高温等离子体离子化样品，检测金属同位素质量数

原子吸收光谱法（AAS）：利用原子对特定波长光的吸收定量元素浓度

辉光放电质谱法（GD-MS）：适用于高纯材料中ppb级杂质分析

X射线荧光光谱法（XRF）：非破坏性检测固体样品表面元素组成

中子活化分析（NAA）：通过核反应测定超痕量元素含量

离子色谱法（IC）：专用于阴离子和可溶性金属检测

石墨炉原子吸收法（GFAAS）：检测ppt级重金属残留

微波消解-ICP法：密闭体系消解样品提高回收率

激光烧蚀电感耦合等离子体质谱（LA-ICP-MS）：直接固体微区分析

伏安法：测定电活性金属如铜铅镉的氧化还原特性

同位素稀释质谱法（ID-MS）：最高精度定量方法之一

全反射X射线荧光法（TXRF）：表面超痕量分析技术

气相色谱-质谱联用（GC-MS）：检测有机金属化合物

紫外可见分光光度法（UV-Vis）：特定金属络合物比色分析

扫描电子显微镜-能谱联用（SEM-EDS）：形貌与元素同步分析

检测仪器

电感耦合等离子体质谱仪, 原子吸收光谱仪, 辉光放电质谱仪, X射线荧光光谱仪, 中子活化分析装置, 离子色谱仪, 石墨炉原子吸收光谱仪, 微波消解系统, 激光烧蚀系统, 伏安分析仪, 同位素比质谱仪, 全反射X射线荧光仪, 气相色谱-质谱联用仪, 紫外可见分光光度计, 扫描电子显微镜

荣誉资质

北检院部分仪器展示