信息概要

晶圆点云邻域偏移距离分析是一种基于高精度点云数据的检测技术，主要用于半导体制造过程中晶圆表面形貌的测量与分析。该技术通过捕捉晶圆表面的三维点云数据，计算邻域点之间的偏移距离，从而评估晶圆的平整度、缺陷分布及加工精度。检测的重要性在于确保晶圆在制造过程中的质量稳定性，避免因表面形貌偏差导致的器件性能下降或失效，同时为工艺优化提供数据支持。该检测服务适用于半导体生产、研发及质量控制环节，能够高效识别微观缺陷并提升产品良率。

检测项目

表面平整度, 邻域偏移距离均值, 偏移距离标准差, 最大偏移距离, 最小偏移距离, 缺陷密度, 缺陷分布均匀性, 局部形变指数, 全局形变指数, 点云数据完整性, 点云噪声水平, 边缘翘曲度, 中心凹陷度, 径向偏移梯度, 切向偏移梯度, 晶格匹配度, 热应力形变, 机械应力形变, 化学腐蚀残留, 表面粗糙度

检测范围

硅晶圆, 碳化硅晶圆, 氮化镓晶圆, 砷化镓晶圆, 磷化铟晶圆, 蓝宝石晶圆, SOI晶圆, 化合物半导体晶圆, 超薄晶圆, 大直径晶圆, 小直径晶圆, 抛光晶圆, 外延晶圆, 图案化晶圆, 裸晶圆, 镀膜晶圆, 掺杂晶圆, 高阻晶圆, 低阻晶圆, 柔性晶圆

检测方法

激光共聚焦扫描法：通过激光束扫描晶圆表面，获取高分辨率点云数据。

白光干涉法：利用白光干涉条纹测量表面微观形貌。

原子力显微镜法：通过探针扫描表面，实现纳米级精度测量。

光学轮廓仪法：基于光学干涉原理，快速测量表面轮廓。

X射线衍射法：分析晶格结构及应力分布。

电子背散射衍射法：用于晶粒取向和缺陷分析。

拉曼光谱法：检测材料成分及应力状态。

扫描电子显微镜法：高倍率观察表面微观缺陷。

接触式轮廓仪法：机械探针直接接触测量表面形貌。

非接触式光学测厚法：通过光学反射测量薄膜厚度。

红外热成像法：检测表面热分布异常。

超声波检测法：探测内部缺陷及分层。

椭偏仪法：测量薄膜光学常数及厚度。

表面等离子共振法：分析表面化学修饰及吸附。

纳米压痕法：评估材料机械性能。

检测仪器

激光共聚焦显微镜, 白光干涉仪, 原子力显微镜, 光学轮廓仪, X射线衍射仪, 电子背散射衍射仪, 拉曼光谱仪, 扫描电子显微镜, 接触式轮廓仪, 非接触式光学测厚仪, 红外热像仪, 超声波检测仪, 椭偏仪, 表面等离子共振仪, 纳米压痕仪

荣誉资质

北检院部分仪器展示