信息概要

半导体超纯水系统除盐实验是确保超纯水水质达到半导体制造工艺要求的关键环节。超纯水中的离子杂质会直接影响芯片生产的良率和性能，因此除盐效果的检测至关重要。第三方检测机构通过专业的技术手段和设备，对超纯水系统的除盐效率、水质纯度等核心指标进行全面评估，为半导体企业提供可靠的数据支持，确保生产用水符合行业标准。

检测项目

电阻率（反映水质的导电性能，数值越高纯度越高），总有机碳（检测水中有机物含量，影响芯片表面清洁度），钠离子（钠残留会导致器件性能下降），钾离子（高浓度钾离子影响半导体电性能），钙离子（钙残留可能形成水垢堵塞管路），镁离子（镁杂质影响晶圆表面质量），铁离子（铁污染会导致器件短路），铜离子（铜残留影响半导体导电性能），锌离子（锌杂质可能导致器件失效），铝离子（铝污染影响芯片性能），氯离子（氯残留腐蚀金属部件），硫酸根离子（硫酸盐影响水质稳定性），硝酸根离子（硝酸盐残留影响水质纯度），磷酸根离子（磷酸盐可能导致沉积），硅酸盐（硅残留影响晶圆表面质量），硼离子（硼污染影响半导体电性能），氨氮（氨残留影响水质pH值），颗粒物（颗粒污染导致芯片缺陷），细菌总数（微生物污染影响水质卫生），内毒素（内毒素残留影响生物相容性），溶解氧（氧含量影响水质氧化性），总溶解固体（反映水中溶解杂质总量），pH值（水质酸碱度影响工艺稳定性），氧化还原电位（反映水质氧化还原能力），电导率（间接反映离子浓度），浊度（衡量水中悬浮物含量），色度（检测水的颜色纯净度），气味（异味可能反映污染），挥发性有机物（VOCs影响芯片表面质量），半挥发性有机物（SVOCs残留影响水质纯度）。

检测范围

离子交换树脂除盐系统，反渗透除盐系统，电去离子系统，混床除盐系统，连续电去离子系统，超滤除盐系统，纳滤除盐系统，蒸馏除盐系统，电渗析除盐系统，紫外线氧化除盐系统，臭氧除盐系统，活性炭过滤除盐系统，膜过滤除盐系统，化学除盐系统，物理除盐系统，生物除盐系统，催化氧化除盐系统，吸附除盐系统，沉淀除盐系统，气浮除盐系统，电解除盐系统，光催化除盐系统，微波除盐系统，超声波除盐系统，磁化除盐系统，电凝聚除盐系统，电化学除盐系统，生物膜除盐系统，纳米材料除盐系统，复合除盐系统。

检测方法

离子色谱法（用于检测水中阴阳离子浓度），原子吸收光谱法（测定金属元素含量），电感耦合等离子体质谱法（高灵敏度检测痕量元素），总有机碳分析仪法（测定水中有机物总量），分光光度法（检测特定离子或化合物），电导率仪法（测量水的导电性能），pH计法（测定水的酸碱度），浊度计法（测量水中悬浮物含量），颗粒计数器法（统计水中颗粒物数量），细菌培养法（检测微生物污染水平），内毒素检测法（鲎试剂法测定内毒素含量），溶解氧测定法（检测水中溶解氧浓度），氧化还原电位测定法（测量水的氧化还原能力），重量法（测定总溶解固体含量），滴定法（测定特定离子浓度），气相色谱法（检测挥发性有机物），高效液相色谱法（测定半挥发性有机物），紫外可见分光光度法（检测特定污染物），荧光分析法（测定痕量有机物），质谱法（高精度分析复杂污染物）。

检测仪器

离子色谱仪，原子吸收光谱仪，电感耦合等离子体质谱仪，总有机碳分析仪，紫外可见分光光度计，电导率仪，pH计，浊度计，颗粒计数器，细菌培养箱，内毒素检测仪，溶解氧测定仪，氧化还原电位计，电子天平，气相色谱仪，高效液相色谱仪。

荣誉资质

北检院部分仪器展示