信息概要

半导体设备表面颗粒检测是确保半导体制造过程中洁净度达标的关键环节。半导体生产对环境洁净度要求极高，微小的颗粒污染可能导致芯片性能下降或失效。第三方检测机构通过专业设备和技术，对半导体设备表面颗粒进行精确检测，帮助客户优化生产工艺、提高产品良率并符合行业标准。检测范围涵盖晶圆、光刻机、刻蚀机等多种设备，确保半导体制造环境的洁净度与可靠性。

检测项目

颗粒数量检测（统计单位面积内的颗粒数量），颗粒尺寸分布（分析颗粒的粒径范围及占比），颗粒形貌分析（观察颗粒的形状和表面特征），颗粒成分分析（确定颗粒的化学组成），颗粒来源追溯（分析颗粒可能的产生原因），表面粗糙度检测（评估表面粗糙度对颗粒附着的影响），静电吸附检测（检测静电对颗粒吸附的作用），洁净度等级评估（根据标准评定表面洁净度等级），颗粒分布均匀性（分析颗粒在表面的分布情况），颗粒附着强度（测试颗粒与表面的结合力），光学显微镜检测（通过光学显微镜观察颗粒），电子显微镜检测（利用电子显微镜高倍率观察颗粒），能谱分析（通过能谱分析颗粒元素组成），X射线衍射分析（确定颗粒的晶体结构），红外光谱分析（检测颗粒的有机或无机成分），拉曼光谱分析（分析颗粒的分子结构），激光散射检测（利用激光散射测量颗粒尺寸），重量法检测（通过重量变化计算颗粒含量），气溶胶检测（检测空气中悬浮颗粒对表面的影响），表面能测试（评估表面能对颗粒附着的影响），接触角测量（分析表面润湿性与颗粒附着的关系），Zeta电位测试（测量颗粒表面电荷特性），荧光标记检测（通过荧光标记追踪颗粒来源），微生物污染检测（检测表面微生物颗粒污染），金属离子污染检测（分析金属离子对颗粒的影响），有机物残留检测（检测表面有机污染物），无机物残留检测（检测表面无机污染物），放射性污染检测（评估表面放射性颗粒污染），纳米颗粒检测（专门检测纳米级颗粒污染），挥发性有机物检测（分析挥发性有机物对颗粒的影响）。

检测范围

晶圆，光刻机，刻蚀机，化学机械抛光机，离子注入机，薄膜沉积设备，清洗设备，检测设备，封装设备，切割设备，研磨设备，退火炉，扩散炉，氧化炉， CVD设备，PVD设备，ALD设备，溅射设备，电镀设备，蚀刻设备，显影设备，烘烤设备，激光加工设备，电子束曝光设备，光刻胶涂布设备，显影机，去胶机，等离子清洗机，超声波清洗机，干燥设备。

检测方法

光学显微镜法（通过光学显微镜观察并统计表面颗粒），扫描电子显微镜法（利用SEM高倍率观察颗粒形貌），透射电子显微镜法（通过TEM分析颗粒内部结构），能谱分析法（EDS检测颗粒元素组成），X射线衍射法（XRD分析颗粒晶体结构），红外光谱法（FTIR检测颗粒有机成分），拉曼光谱法（分析颗粒分子振动特性），激光散射法（通过激光散射测量颗粒尺寸分布），重量法（称重计算表面颗粒含量），气溶胶采样法（采集并分析空气中颗粒对表面的影响），表面能测试法（评估表面能对颗粒吸附的作用），接触角测量法（分析表面润湿性与颗粒附着的关系），Zeta电位测试法（测量颗粒表面电荷特性），荧光标记法（通过荧光标记追踪颗粒来源），微生物检测法（培养并鉴定表面微生物污染），金属离子分析法（ICP-MS检测金属离子污染），有机物分析法（GC-MS检测有机残留物），无机物分析法（IC检测无机离子污染），放射性检测法（测量表面放射性颗粒污染），纳米颗粒检测法（动态光散射或电泳光散射分析纳米颗粒）。

检测仪器

光学显微镜，扫描电子显微镜，透射电子显微镜，能谱仪，X射线衍射仪，红外光谱仪，拉曼光谱仪，激光粒度分析仪，电子天平，气溶胶采样器，表面能分析仪，接触角测量仪，Zeta电位分析仪，荧光显微镜，电感耦合等离子体质谱仪。

荣誉资质

北检院部分仪器展示