信息概要

半导体硅片颗粒测试是半导体制造过程中至关重要的质量控制环节，主要用于检测硅片表面及内部的颗粒污染情况。颗粒污染会直接影响半导体器件的性能和可靠性，甚至导致芯片失效。通过专业的第三方检测服务，可以准确评估硅片的洁净度，确保其符合行业标准（如SEMI、ISO等）和客户要求，从而提升产品良率并降低生产风险。

检测项目

颗粒数量, 颗粒尺寸分布, 颗粒形貌, 颗粒化学成分, 表面金属污染, 有机污染物含量, 无机污染物含量, 颗粒密度, 颗粒来源分析, 颗粒粘附力, 表面粗糙度, 颗粒分布均匀性, 颗粒聚集程度, 颗粒电荷特性, 颗粒溶解度, 颗粒挥发性, 颗粒光学特性, 颗粒热稳定性, 颗粒硬度, 颗粒导电性

检测范围

单晶硅片, 多晶硅片, 抛光硅片, 外延硅片, SOI硅片, 太阳能硅片, 硅晶圆, 硅衬底, 硅薄膜, 硅基板, 硅颗粒, 硅粉末, 硅锭, 硅棒, 硅块, 硅片边角料, 再生硅片, 掺杂硅片, 高阻硅片, 低阻硅片

检测方法

激光散射法：通过激光照射硅片表面，检测散射光信号以分析颗粒数量和尺寸。

扫描电子显微镜（SEM）：高分辨率成像技术，用于观察颗粒形貌和微观结构。

能量色散X射线光谱（EDX）：结合SEM使用，分析颗粒的化学成分。

原子力显微镜（AFM）：通过探针扫描表面，测量颗粒高度和表面粗糙度。

动态光散射（DLS）：用于检测液体环境中纳米级颗粒的尺寸分布。

电感耦合等离子体质谱（ICP-MS）：高灵敏度检测硅片表面金属污染物。

气相色谱-质谱联用（GC-MS）：分析有机污染物种类和含量。

傅里叶变换红外光谱（FTIR）：检测硅片表面有机和无机污染物。

X射线光电子能谱（XPS）：表面敏感技术，分析颗粒表面化学状态。

激光诱导击穿光谱（LIBS）：快速检测硅片表面元素组成。

zeta电位分析：测量颗粒表面电荷特性。

热重分析（TGA）：评估颗粒的热稳定性和挥发性。

显微拉曼光谱：用于颗粒的分子结构鉴定。

超声波清洗法：通过超声波震荡评估颗粒粘附力。

光学显微镜：快速筛查硅片表面大颗粒污染。

检测仪器

激光颗粒计数器, 扫描电子显微镜, 原子力显微镜, 能量色散X射线光谱仪, 电感耦合等离子体质谱仪, 气相色谱-质谱联用仪, 傅里叶变换红外光谱仪, X射线光电子能谱仪, 动态光散射仪, 激光诱导击穿光谱仪, zeta电位分析仪, 热重分析仪, 显微拉曼光谱仪, 超声波清洗机, 光学显微镜

荣誉资质

北检院部分仪器展示