信息概要

电子制造业还原性氢气材料检测是针对电子制造过程中使用的还原性氢气及其相关材料进行的质量与安全性评估。还原性氢气在半导体、光伏、显示面板等电子制造领域具有重要作用，但其纯度和杂质含量直接影响产品质量与工艺稳定性。检测可确保氢气材料符合行业标准，避免因氢气不纯导致的氧化、污染或工艺失效，保障生产安全与产品可靠性。

检测项目

氢气纯度, 氧气含量, 水分含量, 氮气含量, 二氧化碳含量, 甲烷含量, 一氧化碳含量, 总烃含量, 颗粒物浓度, 金属离子含量, 硫化物含量, 氯化物含量, 氟化物含量, 氨气含量, 氩气含量, 氦气含量, 总杂质含量, 露点温度, 爆炸极限, 气体密度

检测范围

高纯氢气, 电子级氢气, 工业氢气, 超纯氢气, 还原性混合气体, 氢气氮气混合气, 氢气氩气混合气, 氢气氦气混合气, 氢气甲烷混合气, 氢气二氧化碳混合气, 氢气一氧化碳混合气, 氢气硫化氢混合气, 氢气氨气混合气, 氢气氟化物混合气, 氢气氯化物混合气, 氢气水蒸气混合气, 氢气颗粒物混合气, 氢气金属离子混合气, 氢气总烃混合气, 氢气爆炸极限测试样品

检测方法

气相色谱法（GC）：用于分离和定量氢气中的杂质气体成分。

质谱法（MS）：通过离子化检测氢气中微量杂质的分子量。

激光光谱法：利用激光吸收特性测定特定气体组分浓度。

电化学传感器法：检测氢气中氧气、水分等活性杂质。

傅里叶变换红外光谱法（FTIR）：分析氢气中的有机和无机化合物。

露点仪法：测量氢气中的水分含量及露点温度。

粒子计数器法：量化氢气中悬浮颗粒物的数量和尺寸分布。

离子色谱法（IC）：检测氢气中可溶性离子杂质如氯化物、氟化物。

原子吸收光谱法（AAS）：测定氢气中金属离子含量。

紫外荧光法：用于硫化物等特定杂质的痕量分析。

热导检测法（TCD）：基于气体热导率差异测定组分浓度。

化学发光法：高灵敏度检测氮氧化物等杂质。

气相色谱-质谱联用法（GC-MS）：结合分离与定性能力分析复杂杂质。

库仑法：精确测定氢气中水分含量。

爆炸极限测试法：评估氢气与空气混合的爆炸危险性。

检测仪器

气相色谱仪, 质谱仪, 激光光谱仪, 电化学传感器, 傅里叶变换红外光谱仪, 露点仪, 粒子计数器, 离子色谱仪, 原子吸收光谱仪, 紫外荧光分析仪, 热导检测器, 化学发光分析仪, 气相色谱-质谱联用仪, 库仑水分分析仪, 爆炸极限测试仪

荣誉资质

北检院部分仪器展示