信息概要

投影物镜虚像畸变检测是一种针对光学投影系统中物镜成像质量的专项检测服务，主要用于评估虚像的几何畸变、像差等关键性能指标。该检测在半导体光刻、精密光学仪器、医疗影像设备等领域具有重要意义，可确保投影系统的成像精度和稳定性，避免因畸变导致的图像失真或工艺偏差。通过第三方检测机构的专业服务，客户能够获取客观、权威的检测数据，为产品优化和质量控制提供科学依据。

检测项目

虚像几何畸变量, 径向畸变系数, 切向畸变系数, 像散误差, 场曲率, 球差, 彗差, 色差, 畸变均匀性, 像面倾斜度, 分辨率衰减, MTF（调制传递函数）, 波前像差, 光轴偏移量, 焦距偏差, 畸变对称性, 像面照度均匀性, 虚像位置误差, 畸变重复性, 环境温度影响系数

检测范围

半导体光刻投影物镜, 显微投影物镜, 激光加工投影物镜, 医疗内窥镜物镜, 工业检测投影物镜, 天文望远镜物镜, 电影放映镜头, 虚拟现实光学模组, 增强现实显示镜头, 激光投影物镜, 红外光学投影系统, 紫外光刻物镜, 数码投影仪镜头, 光学测量仪物镜, 航天遥感镜头, 车载HUD投影物镜, 手机摄像模组, 安防监控镜头, 无人机航拍镜头, 3D打印光学系统

检测方法

干涉仪波前分析法：通过激光干涉测量系统量化波前像差和光学路径差。

MTF测试法：利用标准靶标和图像分析软件计算调制传递函数曲线。

畸变网格标定法：投影规则网格并分析图像变形程度。

焦平面扫描法：通过精密位移平台扫描像面位置误差。

环境模拟测试法：在温湿度可控腔体内检测性能变化。

双光束干涉法：测量物镜的相位分布和光程差。

点扩散函数分析：通过微小孔成像评估系统分辨率。

色差分离测试：采用多波长光源测量轴向色散。

像面照度测绘：使用光度计扫描像面能量分布。

动态畸变检测：模拟实际工作状态下的实时畸变量。

偏振敏感性测试：评估偏振光对成像质量的影响。

机械应力影响测试：施加可控应力检测光学性能变化。

寿命加速试验：通过持续工作模拟老化过程。

杂散光分析：使用黑体辐射源测量系统信噪比。

多视场拼接检测：全视场分区测量后数据融合。

检测仪器

激光干涉仪, 精密光学平台, 电子自准直仪, 高精度位移传感器, 光谱分析仪, 光度计, 温湿度试验箱, 振动测试台, 像质分析软件, 标准分辨率靶板, 多波长光源, 波前传感器, 数字图像相关系统, 偏振分析模块, 光学功率计

荣誉资质

北检院部分仪器展示