信息概要

微电子芯片凸点高度检测是确保芯片封装质量和可靠性的关键环节。凸点作为芯片与基板之间的电气连接介质，其高度均匀性直接影响焊接性能和信号传输稳定性。第三方检测机构通过高精度测量技术，为客户提供全面的凸点高度检测服务，帮助优化生产工艺并提升产品良率。检测内容包括凸点形貌、高度分布、共面性等参数，覆盖晶圆级、封装级等多种应用场景，满足行业标准如JEDEC、IPC等要求。

检测项目

凸点高度：测量凸点顶部与基板参考面的垂直距离。

凸点直径：评估凸点底部或中部的横向尺寸。

共面性：检测多个凸点顶部的平面度一致性。

凸点间距：相邻凸点中心之间的水平距离。

凸点形状偏差：分析实际形状与设计轮廓的差异。

凸点体积：通过三维重建计算凸点的总体积。

表面粗糙度：量化凸点表面的微观不平整度。

倾斜角度：测量凸点中心轴线与垂直方向的偏斜。

底部填充完整性：检查凸点底部与基板的接触质量。

凸点阵列均匀性：评估阵列中所有凸点的高度分布标准差。

焊料残留：检测非目标区域的焊料污染情况。

氧化层厚度：测量凸点表面氧化物的覆盖厚度。

金属间化合物层厚度：分析焊接界面的IMC形成状态。

凸点抗压强度：测试垂直方向的最大承受压力。

热循环后高度变化：评估温度冲击后的凸点形变。

电迁移效应：监测电流负载下的凸点结构稳定性。

润湿角：测量焊料与基板接触面的角度。

空洞率：通过X射线检测内部孔隙占比。

晶格结构：分析凸点材料的晶体排列完整性。

成分比例：验证焊料合金中各元素的配比准确性。

表面污染：检测有机物或无机物残留浓度。

硬度分布：测量凸点不同区域的显微硬度值。

弹性模量：评估凸点材料的抗变形能力。

疲劳寿命：模拟实际工况下的循环耐久性。

热导率：测定凸点的热量传导效率。

电阻率：评估电气路径的阻抗特性。

磁导率：检测磁性材料凸点的磁场响应。

介电常数：分析绝缘层材料的电荷存储能力。

粘附强度：测试凸点与基板间的结合力。

振动耐受性：评估机械振动环境下的结构保持率。

检测范围

锡铅焊料凸点，无铅焊料凸点，铜柱凸点，金凸点，银凸点，镍金凸点，锡银铜凸点，锡铋凸点，锡锑凸点，锡锌凸点，锡铟凸点，锡镍凸点，铜核焊料凸点，聚合物凸点，混合金属凸点，晶圆级凸点，倒装芯片凸点，BGA凸点，CSP凸点，WLCSP凸点，3D IC凸点，TSV凸点，微凸点，纳米凸点，柔性基板凸点，高温凸点，低温凸点，光电器件凸点，MEMS凸点，射频器件凸点

检测方法

激光共聚焦显微镜：通过激光扫描获取三维表面形貌数据。

白光干涉仪：利用光波干涉原理测量纳米级高度差。

扫描电子显微镜：高倍率观察凸点表面和截面微观结构。

X射线断层扫描：非破坏性检测内部孔隙和缺陷分布。

原子力显微镜：原子级分辨率的表面拓扑测量。

光学轮廓仪：快速测量大面积样品的轮廓参数。

接触式探针轮廓仪：机械探针直接接触获取轮廓数据。

红外热成像：检测凸点发热均匀性和热阻特性。

超声波检测：通过声波反射评估内部结合质量。

剪切力测试仪：定量测量凸点机械连接强度。

拉力试验机：评估垂直方向的抗拉脱能力。

显微硬度计：测定局部区域的材料硬度值。

聚焦离子束切割：制备截面样品并分析内部结构。

能谱分析：定性定量分析凸点材料元素组成。

X射线衍射：研究晶体结构和应力分布。

热重分析：测量温度变化下的质量变化特性。

动态机械分析：评估材料粘弹性行为。

四探针电阻测试：精确测量微小区域的电阻率。

红外光谱：检测表面有机污染物种类。

二次离子质谱：分析极表面层的元素深度分布。

检测仪器

激光共聚焦显微镜，白光干涉仪，扫描电子显微镜，X射线断层扫描系统，原子力显微镜，光学轮廓仪，接触式轮廓仪，红外热像仪，超声波检测仪，剪切力测试仪，万能材料试验机，显微硬度计，聚焦离子束系统，能谱仪，X射线衍射仪

荣誉资质

北检院部分仪器展示