信息概要

高k栅介质是一种用于半导体器件中的高性能绝缘材料，具有高介电常数，能有效减小等效氧化层厚度，提升晶体管开关速度和降低功耗。检测高k栅介质性能至关重要，因为它直接关系到器件的可靠性、能效和寿命，确保符合工业标准并优化生产工艺。第三方检测机构提供全面的测试服务，涵盖电学、物理和化学特性评估，帮助客户验证材料质量并降低风险。

检测项目

介电常数，漏电流密度，击穿电压，界面态密度，平带电压，阈值电压，载流子迁移率，可靠性测试，应力诱导漏电流，时间依赖性介电击穿，负偏压温度不稳定性，正偏压温度不稳定性，栅极电容，氧化层厚度，等效氧化层厚度，材料组成，结晶结构，表面形貌，热膨胀系数，热导率，化学稳定性，机械强度，电迁移效应，辐射硬度，频率响应，温度系数，电压系数，缺陷密度，陷阱能级，界面质量，应力测试，老化测试，载流子浓度，掺杂浓度，表面粗糙度，热稳定性，电应力测试，负偏压稳定性，正偏压稳定性，电容-电压特性，电流-电压特性

检测范围

HfO2栅介质，ZrO2栅介质，Al2O3栅介质，TiO2栅介质，用于CMOS技术，用于FinFET器件，用于GAA晶体管，用于DRAM存储器，用于Flash存储器，用于逻辑芯片，用于模拟电路，用于功率器件，用于射频器件，用于微处理器，用于GPU，用于ASIC，用于FPGA，用于MEMS器件，用于传感器，用于光电器件，用于高温应用，用于低温应用，用于高可靠性应用，用于汽车电子，用于航空航天，用于消费电子，用于工业控制，用于医疗设备，用于通信设备，用于计算设备，用于物联网器件，用于人工智能芯片，用于5G技术，用于新能源设备，用于军事电子，用于卫星通信，用于数据中心，用于可穿戴设备，用于智能家居

检测方法

电容-电压测量：通过测量电容随电压变化来评估介电常数和界面态密度，用于表征电学性能。

电流-电压测量：用于测定漏电流密度和击穿电压，评估绝缘特性。

传输线测量：通过高频信号分析来评估材料的高频性能和阻抗特性。

原子力显微镜：观察表面形貌和粗糙度，提供纳米级分辨率。

X射线衍射：分析结晶结构和相变，用于确定材料晶体质量。

二次离子质谱：测定材料成分和杂质浓度，提供化学分析。

热重分析：评估热稳定性和分解温度，用于热性能测试。

应力测试：应用电应力或热应力来模拟实际工作条件，测试可靠性。

时间依赖性介电击穿测试：测量在恒定电压下的击穿时间，评估长期可靠性。

负偏压温度不稳定性测试：在负偏压和高温下评估器件稳定性，用于可靠性分析。

正偏压温度不稳定性测试：类似NBTI但针对正偏压条件，测试电学稳定性。

椭圆偏振光谱：测量薄膜厚度和光学常数，用于非破坏性分析。

扫描电子显微镜：观察微观结构和表面缺陷，提供高分辨率成像。

透射电子显微镜：分析内部晶体结构和界面特性，用于深入材料研究。

四探针测量：测定电阻率和载流子浓度，用于电学特性评估。

检测仪器

半导体参数分析仪，原子力显微镜，X射线衍射仪，二次离子质谱仪，热重分析仪，椭圆偏振仪，扫描电子显微镜，透射电子显微镜，四探针台，电容-电压测量系统，电流-电压测量系统，高频网络分析仪，温度控制器，应力测试系统，时间依赖性介电击穿测试仪，热膨胀系数测量仪，热导率测试仪，化学分析仪，机械测试机，电迁移测试设备，辐射测试装置，频率响应分析仪，表面粗糙度测量仪，光学显微镜，薄膜厚度测量仪，材料成分分析仪，结晶质量分析仪，界面特性测试系统，可靠性测试平台，老化测试箱

荣誉资质

北检院部分仪器展示