信息概要

晶圆玻璃偏振检测是评估光学材料性能的关键技术，广泛应用于半导体、光电子和显示行业。该检测通过分析材料的偏振特性，确保其光学均匀性、减少内部应力引起的双折射，从而提高产品良率和可靠性。检测的重要性在于保障最终产品的光学性能，如显示器、镜头和传感器的质量，避免因材料缺陷导致的功能失效。

检测项目

偏振度, 透射率, 反射率, 双折射, 应力分布, 厚度均匀性, 表面粗糙度, 光学常数, 波长依赖性, 角度依赖性, 温度稳定性, 湿度影响, 化学稳定性, 机械强度, 热膨胀系数, 折射率, 消光系数, 相位延迟, 偏振轴方向, 偏振效率, 散射损失, 吸收系数, 均匀性测试, 缺陷检测, 杂质含量, 表面平整度, 边缘效应, 涂层质量, 抗反射性能, 抗刮擦性, 环境耐久性, 紫外稳定性, 红外性能, 可见光透射, 偏振保持性

检测范围

硅晶圆, 玻璃晶圆, 石英晶圆, 蓝宝石晶圆, 碳化硅晶圆, 氮化镓晶圆, 磷化铟晶圆, 砷化镓晶圆, 氧化铝晶圆, 氧化锆晶圆, 氟化钙晶圆, 氟化镁晶圆, 硼硅酸盐玻璃, 钠钙玻璃, 铅玻璃, 光学玻璃, 红外玻璃, 紫外玻璃, 偏振玻璃, 镀膜晶圆, 未镀膜晶圆, 单晶硅, 多晶硅, 非晶硅, 硅-on-insulator, 硅-on-sapphire, 硅-on-glass, 柔性玻璃, 刚性玻璃, 薄玻璃, 厚玻璃, 微晶玻璃, 激光玻璃, 光纤玻璃, 显示玻璃

检测方法

偏振显微镜法：利用偏振光显微镜观察样品的双折射现象和应力分布。

分光光度法：测量样品在不同波长下的光透射和反射特性。

椭圆偏振法：通过分析偏振光在样品表面反射或透射后的椭圆偏振状态来测定光学常数。

干涉法：使用干涉仪测量样品的厚度和平整度。

应力双折射测试：通过偏振光检测材料内部的应力引起的双折射。

X射线衍射法：利用X射线衍射分析晶体结构和缺陷。

红外光谱法：检测样品在红外波段的吸收和透射性能。

紫外-可见光谱法：测量紫外到可见光范围的光学特性。

激光散射法：评估样品的表面和体积散射损失。

热重分析：测量样品在加热过程中的质量变化，评估热稳定性。

差示扫描量热法：分析样品的热行为，如玻璃转变温度。

原子力显微镜：提供高分辨率的表面形貌图像。

扫描电子显微镜：观察样品表面的微观结构。

透射电子显微镜：分析样品的内部结构和缺陷。

拉曼光谱法：通过拉曼散射分析分子的振动模式。

检测仪器

偏振显微镜, 分光光度计, 椭圆偏振仪, 干涉仪, 应力仪, X射线衍射仪, 红外光谱仪, 紫外-可见光谱仪, 激光散射仪, 热重分析仪, 差示扫描量热仪, 原子力显微镜, 扫描电子显微镜, 透射电子显微镜, 拉曼光谱仪, 厚度测量仪, 表面轮廓仪, 环境试验箱

荣誉资质

北检院部分仪器展示