信息概要

晶圆玻璃金属含量测试是针对半导体和电子行业中使用的晶圆、玻璃基板等材料中的金属杂质进行定量分析的服务。检测的重要性在于确保材料的高纯度，避免金属污染导致器件性能下降、失效或可靠性问题，从而提升产品质量和良率。本服务提供全面的金属元素检测，涵盖从痕量到常量水平的分析，支持生产过程的质量控制和合规性验证。

检测项目

铁含量, 铜含量, 铝含量, 锌含量, 镍含量, 铬含量, 铅含量, 镉含量, 汞含量, 砷含量, 银含量, 金含量, 铂含量, 钯含量, 锡含量, 锑含量, 铋含量, 钴含量, 锰含量, 钼含量, 钛含量, 钒含量, 钨含量, 铪含量, 锆含量, 铌含量, 钽含量, 稀土元素含量, 碱金属含量, 碱土金属含量, 铀含量, 钍含量, 铍含量, 硒含量, 碲含量

检测范围

硅晶圆, 砷化镓晶圆, 磷化铟晶圆, 玻璃基板, 石英玻璃, 硼硅玻璃, 钠钙玻璃, 光学玻璃, 半导体晶圆, 太阳能晶圆, 微电子玻璃, 显示玻璃, 封装玻璃, 衬底玻璃, 蓝宝石晶圆, 碳化硅晶圆, 氮化镓晶圆, 玻璃陶瓷, 氟化钙晶圆, 氟化镁晶圆, 氧化铝陶瓷, 氮化铝陶瓷, 硅酮玻璃, 高硼硅玻璃, 铝硅酸盐玻璃, 锂铝硅玻璃, 钡硅玻璃, 锗晶圆, 硫化锌晶圆, 硒化锌晶圆, 红外玻璃, 紫外玻璃, 激光玻璃, 光纤玻璃, 微晶玻璃

检测方法

电感耦合等离子体质谱法（ICP-MS）：用于高灵敏度、多元素痕量分析。

原子吸收光谱法（AAS）：用于特定元素的定量测定。

X射线荧光光谱法（XRF）：用于无损、快速元素分析。

电感耦合等离子体原子发射光谱法（ICP-AES）：用于同时分析多种元素。

中子活化分析（NAA）：基于中子轰击的高精度元素检测。

辉光放电质谱法（GD-MS）：用于体材料中的痕量元素分析。

二次离子质谱法（SIMS）：用于表面和界面元素分析。

激光剥蚀电感耦合等离子体质谱法（LA-ICP-MS）：用于微区元素 mapping。

原子荧光光谱法（AFS）：用于某些元素如汞、砷的检测。

紫外可见分光光度法（UV-Vis）：基于吸光度的定量分析。

离子色谱法（IC）：用于阴离子和阳离子分析。

气相色谱-质谱联用法（GC-MS）：用于挥发性金属化合物。

高效液相色谱法（HPLC）：用于有机金属化合物分离。

电化学方法如极谱法：用于特定金属离子的检测。

扫描电子显微镜-能谱法（SEM-EDS）：用于形貌和元素分析。

X射线光电子能谱法（XPS）：用于表面化学分析。

检测仪器

电感耦合等离子体质谱仪, 原子吸收光谱仪, X射线荧光光谱仪, 电感耦合等离子体原子发射光谱仪, 中子活化分析仪, 辉光放电质谱仪, 二次离子质谱仪, 激光剥蚀系统, 原子荧光光谱仪, 紫外可见分光光度计, 离子色谱仪, 气相色谱-质谱联用仪, 高效液相色谱仪, 极谱仪, 扫描电子显微镜, 能谱仪, X射线光电子能谱仪

荣誉资质

北检院部分仪器展示