信息概要

硅材料化学机械抛光（CMP）测试是半导体制造中的关键质量控制环节，用于确保硅片表面的平坦度、光滑度和无缺陷。检测的重要性在于提高器件性能、减少生产缺陷、延长设备寿命，并确保产品符合行业标准。本检测服务提供全面的测试，涵盖从表面形貌到化学组成的多个方面。

检测项目

表面粗糙度，去除率，平坦度，缺陷密度，颗粒大小分布，表面能，接触角，硬度，弹性模量，粘附力，腐蚀率，氧化层厚度，表面电荷，电导率，热导率，光学反射率，应力，晶格缺陷，污染水平，化学成分，表面形貌，划痕测试，磨损率，抛光效率，表面均匀性，边缘排除，中心到边缘变化，局部平坦度，全局平坦度，表面清洁度

检测范围

单晶硅片，多晶硅片，硅晶圆，300mm硅片，200mm硅片，150mm硅片，抛光垫A型，抛光垫B型，二氧化硅抛光液，氧化铈抛光液，铝抛光液，铜抛光液，化学机械抛光机，CMP设备，后CMP清洗，预抛光，精抛光，粗抛光，硅片边缘抛光，硅片背面抛光，硅片正面抛光，硅片双面抛光，硅片单面抛光，硅片图案化抛光，硅片非图案化抛光，硅片测试片，硅片生产片，硅片研发片，硅片客户片，硅片标准片

检测方法

原子力显微镜（AFM）：用于高分辨率表面形貌分析。

扫描电子显微镜（SEM）：用于观察表面微观缺陷和结构。

透射电子显微镜（TEM）：用于分析材料微观结构和成分。

表面轮廓仪：测量表面粗糙度和形貌。

椭圆偏振仪：测定薄膜厚度和光学常数。

X射线光电子能谱（XPS）：分析表面化学成分和价态。

傅里叶变换红外光谱（FTIR）：检测化学键和分子结构。

激光散射仪：测量颗粒大小和分布。

接触角测量仪：评估表面润湿性和表面能。

纳米压痕仪：测试硬度和弹性模量。

四探针测试仪：测量电导率和电阻率。

热导率测量仪：分析材料热性能。

光学显微镜：进行宏观缺陷检查和形貌观察。

表面能分析仪：量化表面能量特性。

化学分析仪：检测抛光液化学成分和浓度。

检测仪器

原子力显微镜，扫描电子显微镜，透射电子显微镜，表面轮廓仪，椭圆偏振仪，X射线光电子能谱仪，傅里叶变换红外光谱仪，激光散射仪，接触角测量仪，纳米压痕仪，四探针测试仪，热导率测量仪，光学显微镜，表面能分析仪，化学分析仪

荣誉资质

北检院部分仪器展示