信息概要

晶圆氧化层厚度检测是半导体制造领域的关键质量控制环节，主要针对晶圆表面氧化层的物理参数进行精确测量。氧化层作为器件绝缘或功能层，其厚度直接影响半导体元件的电性能、可靠性和寿命。第三方检测机构提供专业服务，通过非破坏性检测手段，确保产品符合设计规格和行业标准，帮助客户提升良率、减少缺陷风险。检测的重要性在于保障器件一致性、稳定性和安全性，避免因厚度偏差导致的性能失效，支持先进制程研发和生产优化。本服务涵盖高精度测量、数据分析和报告出具，致力于为客户提供可靠的技术支持。

检测项目

氧化层厚度,厚度均匀性,介电常数,折射率,消光系数,表面粗糙度,界面态密度,缺陷密度,应力状态,氢含量,氧含量,硅含量,氮含量,碳含量,硼含量,磷含量,砷含量,锗含量,金属污染浓度,颗粒污染水平,结晶质量,晶向取向,晶格常数,电导率,击穿电压,漏电流,电容值,电阻值,迁移率,阈值电压

检测范围

硅晶圆,砷化镓晶圆,绝缘体上硅晶圆,蓝宝石晶圆,碳化硅晶圆,氮化镓晶圆,磷化铟晶圆,锗晶圆,化合物半导体晶圆,8英寸晶圆,12英寸晶圆,6英寸晶圆,4英寸晶圆,薄片晶圆,厚片晶圆,抛光晶圆,外延晶圆,硅on绝缘体晶圆,多晶硅晶圆,单晶硅晶圆,砷化镓on硅晶圆,碳化硅on硅晶圆,氮化镓on硅晶圆,硅on蓝宝石晶圆,硅on碳化硅晶圆,硅on氮化镓晶圆,硅on锗晶圆,硅on磷化铟晶圆,硅on砷化镓晶圆,硅on化合物晶圆

检测方法

椭圆偏振法：通过分析偏振光反射测量薄膜厚度和光学常数，适用于非破坏性高精度检测。

X射线反射法：利用X射线反射谱计算层厚和密度，提供纳米级分辨率。

电容-电压法：通过电容变化推导氧化层厚度和界面电荷，常用于电学特性评估。

光谱反射法：基于光反射谱分析厚度，简单快速适用于在线检测。

原子力显微镜法：通过探针扫描表面形貌，间接评估厚度和粗糙度。

扫描电子显微镜法：利用电子束成像测量截面厚度，需样品制备。

透射电子显微镜法：高分辨率成像直接观察层厚，适用于超薄氧化层。

二次离子质谱法：通过离子溅射分析成分和厚度，提供深度剖面。

傅里叶变换红外光谱法：基于红外吸收谱测量厚度和化学键信息。

激光干涉法：利用激光干涉条纹计算厚度，适用于透明薄膜。

超声脉冲回波法：通过声波传播时间测量厚度，用于较厚层检测。

热波法：基于热扩散特性评估厚度，非接触式操作。

电子能谱法：分析电子能谱推导层厚和成分，表面敏感。

光学显微镜法：简单视觉检查厚度迹象，辅助性方法。

应力测量法：通过应力变化间接推断厚度，结合其他技术使用。

检测仪器

椭圆仪,X射线衍射仪,原子力显微镜,扫描电子显微镜,透射电子显微镜,光谱反射仪,电容-电压测试仪,二次离子质谱仪,傅里叶变换红外光谱仪,激光干涉仪,超声测厚仪,热波检测仪,电子能谱仪,光学显微镜,应力测量仪

荣誉资质

北检院部分仪器展示