信息概要

半导体晶圆表面污染测试是针对半导体制造过程中晶圆表面污染物进行的专业检测服务。该测试主要评估晶圆表面的清洁度，涉及颗粒、金属离子、有机物等多种污染物的检测。检测的重要性在于，表面污染可能导致半导体器件性能下降、良率降低，甚至引发电路故障。通过精确的检测，可以及时发现污染源，提升产品质量和可靠性。本服务概括了全面的检测参数和方法，为客户提供可靠的晶圆表面质量评估。

检测项目

颗粒污染，金属杂质，有机物残留，表面粗糙度，氧化层厚度，颗粒尺寸分布，金属离子浓度，有机物种类，表面形貌，元素分析，化学组成，电学性能，界面特性，污染物来源分析，清洁度评估，颗粒数量，金属含量，有机物含量，表面能，接触角，污染物分布，颗粒形状，金属杂质种类，有机物残留量，表面缺陷，污染物浓度，颗粒覆盖率，金属析出，有机物降解，表面吸附

检测范围

单晶硅晶圆，多晶硅晶圆，砷化镓晶圆，碳化硅晶圆，氮化镓晶圆，绝缘体上硅晶圆，硅基晶圆，III-V族化合物晶圆，II-VI族化合物晶圆，锗硅晶圆，蓝宝石衬底晶圆，石英晶圆，玻璃晶圆，聚合物晶圆，金属化晶圆，氧化层晶圆，氮化层晶圆，光刻胶涂层晶圆，蚀刻后晶圆，抛光后晶圆，清洗后晶圆，热处理后晶圆，离子注入后晶圆，外延生长晶圆，薄膜沉积晶圆，图案化晶圆，测试晶圆，成品晶圆，研发用晶圆，生产用晶圆

检测方法

扫描电子显微镜法：通过电子束扫描观察表面形貌和污染物分布

原子力显微镜法：利用探针测量表面粗糙度和三维形貌

X射线光电子能谱法：通过X射线激发分析表面元素组成和化学状态

二次离子质谱法：使用离子束溅射检测痕量元素和杂质

傅里叶变换红外光谱法：通过红外吸收识别有机物污染种类

俄歇电子能谱法：利用电子激发分析表面元素和化学环境

辉光放电质谱法：通过辉光放电进行体材料和表面杂质分析

表面张力测量法：评估表面清洁度和润湿性能

颗粒计数法：统计表面颗粒数量和尺寸分布

电化学测试法：测量表面电学性能和腐蚀行为

紫外可见光谱法：通过光吸收分析污染物浓度

拉曼光谱法：利用散射光谱识别分子结构

热重分析法：通过加热测量有机物残留和分解

离子色谱法：分离和检测离子型污染物

气相色谱质谱联用法：结合分离和质谱分析挥发性有机物

检测仪器

扫描电子显微镜，原子力显微镜，X射线光电子能谱仪，二次离子质谱仪，傅里叶变换红外光谱仪，俄歇电子能谱仪，辉光放电质谱仪，表面张力计，颗粒计数器，电化学工作站，紫外可见分光光度计，拉曼光谱仪，热重分析仪，离子色谱仪，气相色谱质谱联用仪

荣誉资质

北检院部分仪器展示