信息概要

砷化镓晶片作为高性能半导体材料，广泛应用于光电子和微电子领域。杂质检测是确保晶片质量的关键环节，第三方检测机构提供专业服务，通过分析晶片中杂质元素含量，评估材料纯度。检测有助于控制产品缺陷，提升器件可靠性和性能，满足行业标准要求。本服务基于科学方法，为客户提供准确数据支持，助力产品质量管理。

检测项目

施主杂质浓度，受主杂质浓度，载流子浓度，迁移率，电阻率，位错密度，氧含量，碳含量，硅含量，硫含量，硒含量，碲含量，锌含量，镉含量，汞含量，铁含量，铜含量，镍含量，铬含量，锰含量，钒含量，钛含量，铝含量，铟含量，氢含量，氮含量，氦含量，氩含量，表面污染度，体杂质浓度

检测范围

单晶砷化镓晶片，多晶砷化镓晶片，n型砷化镓晶片，p型砷化镓晶片，半绝缘砷化镓晶片，低阻砷化镓晶片，高阻砷化镓晶片，掺硅砷化镓晶片，掺锌砷化镓晶片，掺铁砷化镓晶片，未掺杂砷化镓晶片，砷化镓外延片，砷化镓衬底，砷化镓晶圆，2英寸砷化镓晶片，3英寸砷化镓晶片，4英寸砷化镓晶片，6英寸砷化镓晶片，砷化镓基板，砷化镓薄膜，砷化镓器件用晶片

检测方法

二次离子质谱法：通过离子轰击样品表面，进行杂质元素深度剖析和定量分析。

辉光放电质谱法：利用辉光放电离子化样品，实现体材料中杂质元素的高灵敏度检测。

原子吸收光谱法：基于原子对特定波长光的吸收，测定杂质元素浓度。

电感耦合等离子体质谱法：结合等离子体离子化和质谱技术，进行多元素快速分析。

霍尔效应测量法：通过测量霍尔电压和电流，计算载流子浓度和迁移率。

四探针电阻率测试法：使用四根探针接触样品表面，测量电阻率值。

腐蚀坑密度法：通过化学腐蚀显示晶体缺陷，评估位错密度。

X射线衍射法：分析晶体结构变化，间接评估杂质影响。

傅里叶变换红外光谱法：检测轻元素杂质如碳和氧的含量。

放射性示踪法：利用放射性同位素标记，进行高精度杂质追踪。

扫描电子显微镜法：观察样品表面形貌，辅助杂质分布分析。

透射电子显微镜法：提供高分辨率图像，分析微观杂质。

能谱分析法：结合电子显微镜，进行元素定性和半定量分析。

热导法：测量材料热导率，间接反映杂质含量。

光致发光谱法：通过荧光光谱分析，评估杂质能级和浓度。

检测仪器

二次离子质谱仪，辉光放电质谱仪，原子吸收光谱仪，电感耦合等离子体质谱仪，霍尔效应测量系统，四探针测试仪，X射线衍射仪，傅里叶变换红外光谱仪，扫描电子显微镜，透射电子显微镜，能谱仪，热导率测量仪，光致发光谱仪，质谱仪，光谱分析仪

荣誉资质

北检院部分仪器展示