信息概要

溅射靶材是薄膜制备工艺中的关键材料，广泛应用于电子、光学和装饰涂层等领域。其纯度直接影响涂层性能，杂质检测是确保产品质量的重要环节。通过专业检测，可以识别和控制杂质含量，提升产品可靠性和一致性。本检测服务提供全面的溅射靶材杂质分析，采用标准化流程和高精度设备，确保数据准确可靠，助力客户优化生产工艺。

检测项目

总杂质含量，金属杂质含量，非金属杂质含量，氧含量，氮含量，碳含量，硫含量，磷含量，氯含量，氟含量，氢含量，重金属含量，稀土元素含量，碱金属含量，过渡金属含量，卤素含量，气体杂质含量，颗粒含量，密度，硬度，纯度，均匀性，表面污染，内部缺陷，化学成分分析，元素分布，相组成，晶体结构，热稳定性，电导率

检测范围

金属靶材，合金靶材，陶瓷靶材，半导体靶材，氧化物靶材，氮化物靶材，碳化物靶材，硫化物靶材，复合靶材，多层靶材，贵金属靶材，过渡金属靶材，稀土靶材，透明导电靶材，磁性靶材，高熔点靶材，低熔点靶材，纳米靶材，粉末靶材，烧结靶材，镀膜靶材，定制靶材

检测方法

电感耦合等离子体质谱法：用于高灵敏度检测痕量金属元素杂质，适用于多种基质样品。

X射线荧光光谱法：提供快速无损的元素组成分析，适合固体样品表面检测。

原子吸收光谱法：专用于特定金属元素的定量检测，操作简便且准确性高。

火花源质谱法：可实现固体样品的直接元素分析，覆盖范围广。

离子色谱法：针对阴离子杂质的分离与测定，如卤素和酸根离子。

气相色谱法：用于检测挥发性有机杂质和气体成分。

质谱法：通用型元素分析技术，可结合多种进样方式。

原子发射光谱法：通过光谱特征分析多元素含量，快速高效。

电子探针微区分析法：提供微米级区域的成分分布信息。

X射线衍射法：用于分析晶体结构和相组成，辅助杂质鉴定。

扫描电子显微镜法：观察样品表面形貌和微观结构，结合能谱进行元素分析。

透射电子显微镜法：实现高分辨率内部结构检测，适用于纳米级杂质。

热分析法：如热重分析，评估材料热稳定性和挥发性杂质。

电化学法：例如电位滴定，用于特定离子浓度的精确测定。

化学分析法：传统湿化学方法，通过反应定量分析杂质成分。

检测仪器

电感耦合等离子体质谱仪，X射线荧光光谱仪，原子吸收光谱仪，火花源质谱仪，离子色谱仪，气相色谱仪，质谱仪，原子发射光谱仪，电子探针微分析仪，X射线衍射仪，扫描电子显微镜，透射电子显微镜，热重分析仪，电位滴定仪，化学分析设备

荣誉资质

北检院部分仪器展示