信息概要

过蚀刻检测是针对半导体制造过程中蚀刻工艺的专项检测服务，主要评估蚀刻是否超出设计范围，避免因过度蚀刻导致产品尺寸偏差或性能失效。检测的重要性在于确保工艺稳定性，提升产品良率，减少生产损失。本服务通过标准化流程，对蚀刻后样品进行多维度分析，提供可靠数据支持。

检测项目

蚀刻深度，蚀刻均匀性，侧壁角度，表面粗糙度，线宽偏差，关键尺寸，蚀刻速率，选择性，各向异性，残留物含量，缺陷密度，薄膜厚度，界面质量，电学参数，结构完整性，化学成分，形貌特征，应力分布，晶格损伤，掺杂浓度，接触电阻，绝缘性能，热稳定性，可靠性指标，寿命评估，环境适应性，安全特性，电磁兼容，信号完整性，功率损耗

检测范围

硅基集成电路，化合物半导体器件，光电元件，微机电系统，功率半导体，存储器芯片，逻辑电路，传感器件，射频器件，光刻掩模版，封装基板，纳米结构，薄膜晶体管，太阳能电池，发光二极管，集成电路封装，半导体材料，电子元件，通信器件，汽车电子，消费电子，工业控制器件，医疗电子，航空航天组件，国防器件，物联网设备，人工智能芯片，5G组件，可穿戴设备，智能家居元件

检测方法

扫描电子显微镜法：通过电子束扫描样品表面，获取高分辨率形貌图像。

透射电子显微镜法：利用电子穿透薄样品，观察内部微观结构。

原子力显微镜法：通过探针扫描表面，测量三维形貌和力学性能。

光学轮廓仪法：基于光学干涉原理，检测表面轮廓和尺寸精度。

X射线衍射法：分析晶体结构和应力状态。

二次离子质谱法：测定表面化学成分和掺杂分布。

椭偏仪法：测量薄膜厚度和光学常数。

四探针法：评估薄膜的电导率和电阻率。

聚焦离子束法：进行局部切割和成分分析。

拉曼光谱法：识别材料分子结构和应力。

热重分析法：检测材料在高温下的稳定性。

电学测试法：评估器件的电流电压特性。

失效分析法：定位并分析缺陷成因。

环境测试法：模拟温度湿度等条件，检验可靠性。

能谱分析法：配合电子显微镜，进行元素定性定量。

检测仪器

扫描电子显微镜，透射电子显微镜，原子力显微镜，光学轮廓仪，X射线衍射仪，二次离子质谱仪，椭偏仪，四探针测试仪，聚焦离子束系统，拉曼光谱仪，热重分析仪，参数分析仪，失效分析系统，环境试验箱，能谱仪

荣誉资质

北检院部分仪器展示