信息概要

外延片是半导体制造中的关键基础材料，通过外延生长技术在衬底上形成单晶薄膜，广泛应用于集成电路和光电器件领域。第三方检测机构提供专业的外延片检测服务，旨在评估产品的物理特性、电学性能和化学组成，确保其符合行业标准和质量要求。检测的重要性在于早期识别潜在缺陷，如晶体不完整性或杂质超标，从而提升产品可靠性、优化工艺流程，并降低生产成本。概括来说，检测服务通过科学手段全面分析外延片的质量指标，为客户提供客观、准确的数据支持。

检测项目

厚度，电阻率，载流子浓度，迁移率，少子寿命，表面粗糙度，晶体取向，缺陷密度，位错密度，堆垛层错密度，杂质浓度，氧含量，碳含量，重金属含量，表面形貌，界面特性，应力，翘曲度，平整度，颗粒污染，表面电荷，介电常数，击穿电压，漏电流，霍尔系数，薄层电阻，折射率，吸收系数，能带间隙，腐蚀速率

检测范围

硅外延片，砷化镓外延片，氮化镓外延片，碳化硅外延片，锗外延片，氮化铝外延片，磷化铟外延片，氧化锌外延片，n型外延片，p型外延片，本征外延片，异质结外延片，同质外延片，功率器件用外延片，光电器件用外延片，微波器件用外延片，传感器用外延片，2英寸外延片，3英寸外延片，4英寸外延片，6英寸外延片，8英寸外延片，12英寸外延片，超薄外延片，多层外延片，图案化外延片，柔性外延片，高温外延片，低温外延片，掺杂外延片

检测方法

X射线衍射法：用于分析晶体结构和取向，评估外延层的结晶质量。

扫描电子显微镜法：观察表面形貌和微观缺陷，提供高分辨率图像。

原子力显微镜法：测量表面粗糙度和纳米级形貌，精确评估平整度。

四探针法：测定电阻率和薄层电阻，适用于导电性能分析。

霍尔效应测试法：确定载流子浓度和迁移率，评估电学特性。

光致发光谱法：分析少子寿命和缺陷状态，通过发光特性判断质量。

二次离子质谱法：检测杂质元素浓度，实现痕量成分分析。

傅里叶变换红外光谱法：测量氧、碳等轻元素含量，用于化学组成评估。

表面光电压法：评估表面状态和界面特性，反映电学均匀性。

椭偏仪法：测量薄膜厚度和光学常数，非接触式快速检测。

X射线光电子能谱法：分析表面化学组成和价态，识别污染元素。

阴极发光法：观察晶体缺陷和发光均匀性，适用于光电器件材料。

热波法：检测热学性能，评估材料的热导率和应力。

电容电压法：测量介电特性和界面陷阱密度，用于电学参数分析。

透射电子显微镜法：提供内部结构信息，分析晶体缺陷和界面质量。

检测仪器

X射线衍射仪，扫描电子显微镜，原子力显微镜，四探针测试仪，霍尔效应测试系统，光致发光谱仪，二次离子质谱仪，傅里叶变换红外光谱仪，椭偏仪，表面轮廓仪，台阶仪，X射线光电子能谱仪，阴极发光系统，热波检测系统，电容电压测试仪

荣誉资质

北检院部分仪器展示