离子束刻蚀机
主要用途
离子束刻蚀机是用于微纳加工的设备。广泛应用于半导体制造、微机电系统等领域，能够实现高精度的材料刻蚀加工。
参数指标
离子束能量：0-2000eV；束流密度：0-2mA/cm²；均匀性：≤±2%；刻蚀速率：可调。
主要样品类型
适用于微纳结构加工，包括：硅、二氧化硅、金属、聚合物等。
主要实验项目
微纳结构刻蚀、图案转移、材料减薄、表面清洗等。
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离心机-化妆品检测实验室
一、仪器简介
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