信息概要

超薄表面粗糙度评估是对材料表面微观形貌进行精确测量的重要技术，广泛应用于精密制造、半导体、光学元件等领域。通过第三方检测机构的专业服务，可以确保产品表面质量符合行业标准，提升产品性能与可靠性。检测的重要性在于：避免因表面粗糙度不达标导致的摩擦损耗、光学性能下降或涂层附着力不足等问题，同时为生产工艺优化提供数据支持。

检测项目

表面粗糙度Ra值,表面粗糙度Rz值,轮廓最大高度Rp,轮廓最大深度Rv,轮廓算术平均偏差Rq,轮廓微观不平度十点高度Rz1max,轮廓支承长度率Rmr,轮廓峰密度Rdc,轮廓偏斜度Rsk,轮廓陡度Rku,轮廓波长λa,轮廓波长λq,轮廓滤波截止波长,表面纹理方向,表面缺陷检测,表面波纹度,表面划痕深度,表面孔隙率,表面涂层均匀性,表面反射率

检测范围

半导体晶圆,光学镜片,金属镀膜,陶瓷基板,聚合物薄膜,玻璃面板,精密模具,切削刀具,轴承滚道,医用植入体,太阳能电池板,液晶显示屏,汽车涂层,航空航天部件,电子封装材料,柔性电路板,纳米材料,超导薄膜,磁性介质,复合材料

检测方法

接触式轮廓仪法：通过金刚石探针直接接触表面测量轮廓曲线

白光干涉法：利用光学干涉原理测量纳米级表面形貌

原子力显微镜(AFM)：通过探针原子间作用力实现亚纳米级分辨率检测

激光共聚焦显微镜：采用激光扫描技术获取三维表面数据

扫描电子显微镜(SEM)：通过电子束成像分析表面微观结构

光学轮廓仪法：基于非接触式光学测量表面高度变化

相位偏移干涉法：适用于高反射率表面的精密测量

数字全息显微术：通过全息成像重建表面三维形貌

散射光分析法：利用光散射特性评估表面粗糙度

X射线反射法：测量超光滑表面的原子级粗糙度

超声表面波法：通过超声波传播特性分析表面状态

电容式测微法：基于电容变化检测表面微小起伏

隧道电流法：适用于导电材料的原子级表面检测

红外干涉法：针对红外光学材料的表面特性检测

图像处理分析法：通过数字图像处理计算表面参数

检测仪器

接触式轮廓仪,白光干涉仪,原子力显微镜,激光共聚焦显微镜,扫描电子显微镜,光学轮廓仪,相位干涉仪,数字全息显微镜,光散射分析仪,X射线反射计,超声表面波检测仪,电容测微仪,扫描隧道显微镜,红外干涉仪,三维表面形貌仪

荣誉资质

北检院部分仪器展示