信息概要

集成电路表面颗粒测试是确保芯片质量和可靠性的关键环节，主要检测附着在集成电路表面的微小颗粒污染物。这些颗粒可能来自生产、运输或存储过程，若未及时清除，可能导致电路短路、性能下降或失效。第三方检测机构通过专业设备和方法，为客户提供精准的颗粒检测服务，帮助提升产品良率并符合行业标准。

检测项目

颗粒尺寸分布：分析颗粒的直径范围及其分布情况。

颗粒数量密度：统计单位面积内的颗粒数量。

颗粒化学成分：确定颗粒的元素或化合物组成。

颗粒形貌特征：观察颗粒的形状、表面结构等物理特性。

颗粒来源分析：追溯颗粒产生的可能原因或环节。

表面粗糙度影响：评估颗粒对表面粗糙度的贡献。

静电吸附效应：检测颗粒因静电吸附的分布情况。

金属污染检测：识别表面金属颗粒的种类和含量。

有机物残留：检测有机污染物及其浓度。

无机物残留：检测无机污染物及其浓度。

颗粒分布均匀性：分析颗粒在表面的分布均匀程度。

颗粒粘附力：测量颗粒与表面的结合强度。

颗粒清除效率：评估清洁工艺对颗粒的去除效果。

环境颗粒污染：模拟环境对表面颗粒的影响。

工艺过程污染：分析生产过程中引入的颗粒污染。

封装完整性：检查颗粒对封装密封性的潜在风险。

光学反射率影响：评估颗粒对表面光学性能的影响。

热稳定性测试：检测颗粒在高温环境下的变化。

湿度敏感性：分析颗粒在潮湿环境中的行为。

机械应力影响：评估颗粒在机械应力下的稳定性。

电性能干扰：测试颗粒对电路电性能的影响。

颗粒聚集现象：观察颗粒是否形成聚集或团块。

表面能影响：分析颗粒对表面能的改变。

清洁剂兼容性：检测清洁剂对颗粒的溶解或去除效果。

颗粒迁移风险：评估颗粒在应用中的潜在迁移可能性。

颗粒硬度测试：测量颗粒的硬度或耐磨性。

颗粒溶解性：测试颗粒在不同溶剂中的溶解行为。

颗粒光学特性：分析颗粒的透光性、反射性等光学参数。

颗粒导电性：检测颗粒是否具有导电特性。

颗粒生物兼容性：评估颗粒对生物组织的潜在影响。

检测范围

逻辑芯片，存储芯片，模拟芯片，混合信号芯片，射频芯片，功率芯片，传感器芯片，微处理器，图形处理器，数字信号处理器，现场可编程门阵列，专用集成电路，光电子器件，MEMS器件，电源管理芯片，通信芯片，汽车电子芯片，工业控制芯片，消费电子芯片，医疗电子芯片，航空航天芯片，军事电子芯片，物联网芯片，人工智能芯片，生物芯片，封装测试芯片，晶圆级封装芯片，系统级封装芯片，三维集成芯片，柔性电子芯片

检测方法

光学显微镜检测：利用光学放大技术观察表面颗粒形貌。

扫描电子显微镜（SEM）：高分辨率成像分析颗粒微观结构。

能量色散X射线光谱（EDX）：测定颗粒的元素组成。

激光散射法：通过激光散射测量颗粒尺寸分布。

原子力显微镜（AFM）：纳米级表面形貌和颗粒高度测量。

X射线光电子能谱（XPS）：分析颗粒表面化学状态。

傅里叶变换红外光谱（FTIR）：检测有机颗粒的官能团。

拉曼光谱：识别颗粒的分子振动特征。

质谱分析法：测定颗粒的分子量或元素同位素。

离子色谱法：检测可溶性离子污染物。

气相色谱-质谱联用（GC-MS）：分析挥发性有机颗粒。

液相色谱-质谱联用（LC-MS）：检测非挥发性有机颗粒。

动态光散射（DLS）：测量纳米颗粒的粒径分布。

静态光散射（SLS）：分析颗粒的分子量或聚集状态。

电泳光散射（ELS）：测定颗粒的表面电荷特性。

热重分析（TGA）：评估颗粒的热稳定性或挥发成分。

差示扫描量热法（DSC）：分析颗粒的热力学行为。

表面等离子体共振（SPR）：检测颗粒与表面的相互作用。

石英晶体微天平（QCM）：实时监测颗粒吸附或脱附过程。

椭偏仪测量：分析颗粒对表面光学性质的影响。

检测仪器

光学显微镜，扫描电子显微镜，能量色散X射线光谱仪，原子力显微镜，激光粒度分析仪，X射线光电子能谱仪，傅里叶变换红外光谱仪，拉曼光谱仪，质谱仪，离子色谱仪，气相色谱-质谱联用仪，液相色谱-质谱联用仪，动态光散射仪，静态光散射仪，电泳光散射仪

荣誉资质

北检院部分仪器展示